潇湘省，科技改革全面升级。

全国科技产业基金追加500亿元投资，专项支持潇湘省的半导体、光刻机、EDA软件、芯片设计等核心技术突破。

李一凡迅速召开科技产业发展会议，明确潇湘省的五大科技攻坚方向——

1. 半导体制造突破

? 长鑫存储二期全面投产，48家配套企业同步开工，形成完整存储芯片产业链。

? 中微芯片研发中心投入运营，许思华博士带领团队，推进7nm芯片设计。

? 中微投资100亿，研发5nm制程刻蚀机，目标三年内完成工业化应用。

2. 光刻机研发

? 中微光刻机事业部扩张，“星辰一号”28nm光刻机实现量产，订单突破140台！

? 14nm光刻机研发进入工程样机测试阶段，预计明年初正式量产！

? 与南大光电联合设立“光刻材料研究院”，推动光刻胶国产化。

3. 高端材料国产替代

? 南大光电的28nm光刻胶已实现量产，月产能3吨，并与中微联合实验室合作，进一步优化适配光刻机的性能。

光刻胶技术在与中微最新研发的光学系统配合后，分辨率提升15%，完全满足28nm制程需求。

同时，南大光电正在加紧研发14nm匹配的新产品，目标是全面突破国外技术封锁。

省委会议决定追加20亿元专项资金支持南大光电和中微的联合实验室建设，用于设备采购与高端人才引进。

南大光电的新型ArF光刻胶已进入产业化测试阶段，并计划在星城市投资50亿建设研发、生产、测试一体化的光刻胶基地。

? 星城市政府推动光刻胶、特种气体、光刻机镜片涂层材料的国产替代，打造完整的半导体材料产业链。

? 德国默克调整投资方案，5亿欧元用于光刻胶研发，15亿欧元用于特种电子气体、半导体涂层材料。

4. EDA软件国产化